正胶PR1-2000A1技术资料
正胶PR1-2000A1是为曝光波长为365或者436纳米,可用于晶圆步进器、扫描投影对准器、近程打印机和接触式打印机等工具。PR1-2000A1可以满足对附着能力较高的要求,NR2625000P光刻胶报价,在使用PR1-2000A1时一般不需要增粘剂,如HMDS。
相对于其他的光刻胶,NR26 25000P光刻胶哪里有,PR1-2000A1有如下的一些额外的优势:
PEB,不需要后烘的步骤;
较高的分别率;
快速显影;
较强的线宽控制;
蚀刻后去胶效果好;
在室温下有效期长达2年。
NR9-3000PYNR26 25000P光刻胶
光刻胶底膜处理:清洗:清洁干燥,NR2625000P光刻胶价格,使硅片与光刻胶良好的接触。烘干:去除衬底表面的水汽,使其干燥,增粘处理(涂底):涂上增加光刻胶与硅片表面附着能力的化合物,HMDS,光刻胶疏水,Sio2空气中,Si-OH, 表面有,亲水性,使用HMDS(H2C)6Si2NH涂覆,熏蒸 与 SI –OH结合形成Si-O-Si(CH2)2,与光刻胶相亲。
美国Futurrex的光刻胶
北京赛米莱德贸易有限公司供应美国Futurrex新型lift-off光刻胶NR9-3000PY,NR2625000P光刻胶,此款负胶的设计适用于比较宽的波长范围和i线(366纳米)曝光工具。当显影后显示出负的侧壁角度,是lift-off工艺中比较简易的光刻胶。和其他胶相比NR9i-3000PY有下面的优势:1. 比较高的光刻速度,可以定制光刻速度来曝光产量 2. 比较高的分辨率和快的显影时间 3. 根据曝光能量可以比较容易的调整侧壁角度4. 耐温可以达到100摄氏度 5. 用RR5去胶液可以很容易的去胶NR9-3000PY的制作和工艺是根据职业和环境的安全而设计。主要的溶剂是,NR9-3000PY的显影在水溶液里完成。属固含量(%):31-35主要溶剂: 外观: 浅液体涂敷能:均匀的无条纹涂敷 100摄氏度热板烘烤300秒后膜厚涂敷自旋速度40秒自旋。
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