逆流氦质谱检漏仪
该类仪器是根据油扩散泵或分子泵的压缩比与气体种类有关的原理制成的。例如，多级油扩散泵对氦气的压缩比为102；对空气中其它成分的压缩比为lO4～106。检漏时，通过被检件上漏孔进入主抽泵前级部位的氦气，仍有部分返流到质谱室中去，并由仪器的输出指示示出漏气讯号。这就是逆流氦质谱检漏仪的工作原理。
氦质谱检漏仪故障与处理
检漏仪内部泄漏
定位方法
采用喷吹法对各密封部位的气密性进行检测，因检漏仪内部结构紧凑，各密封结构间的距离很近，检测时定位难度较大。经摸索，在检测时采用以下技巧，氦检漏仪费用，可提高定位的能力：①查漏前，先将分子泵风扇的电源断开，避免风扇将氦源吹散至各个密封环节，造成定位不准确。②喷吹时，要严格控制氦源的流量，尽量采用喷咀流量小的喷，提高定位的能力。③仪器的反应时间小于1s，所以在一个部位喷吹的时间约3 s，再等待约3 s 后观测信号有无变化。
真空系统一般包括：
1）主泵。一般用扩散泵或涡轮分子泵。极限压力小于5×10-1Pa，其抽速应与气载匹配。
2）前级真空泵。一般采用旋片式机械真空泵，在以分子示为主泵的系统中，也有采用薄膜泵或干泵的。极限压力小于1×10-1Pa，抽速与主泵匹配。
3）预抽真空泵。一般与前级真空泵共同一个泵，也有预抽真空泵的。预抽真空泵一般采用旋片式机械真空泵，其抽速视被检件大小而定，因此预抽真空泵大都由用户自配。
4）冷阱。分子泵型真空系统一般不加冷阱。扩散泵型真空系统的冷阱加在质谱室、检漏口与扩散泵之间，使三者被冷阱隔离，如图5所示。冷阱加入液氮后便可阻止扩散泵的油蒸气和被检件来的水蒸气进入质谱室，保持质谱室的清洁，并帮助扩散泵迅速获得较高真空。
5）检漏阀。按在质谱室和被检件之间的管道上。有些仪器采用节流阀，控制流入质谱室的气体流量。
6）真空规。一般采用冷阴极磁控放电真室规来测量质谱室中的压力。也有用电阻规或热偶规测量被检件的预抽压力和系统的前级压力的。
7）标准漏孔。一般仪器内都附有标准漏孔（大多为薄膜渗氦型），用它来校准仪器的小可检漏率和对仪器输出指示进行定标。
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