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光刻胶 NR9 500PY  赛米莱德 光刻胶

更新:2020-04-03 04:33 浏览:0次
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产品详细介绍

光刻胶

光刻胶组分及功能

光引发剂

光引发剂吸收光能(辐射能)后经激发生成活性中间体,并进一步引发聚合反应或其他化学反应, 光刻胶NR9-500PY?,是光刻胶的关键组分, 光刻胶 NR9-3000PY,对光刻胶的感光度、分辨率等起决定性作用。

树脂

光刻胶的基本骨架,是其中占比较大的组分, 光刻胶 NR9-500PS,主要决定曝光后光刻胶的基本性能,包括硬度、柔韧性、附着力、曝光前后对溶剂溶解度的变化程度、光学性能、耐老化性、耐蚀刻性、热稳定性等。

溶剂

溶解各组分,是后续聚合反应的介质,另外可调节成膜。

单体

含有可聚合官能团的小分子,也称之为活性稀释剂,一般参加光固化反应,可降低光固化体系粘度并调节光固化材料的各种性能。










光刻工艺重要性二

光刻胶的曝光波长由宽谱紫外向g线→i线→KrF→ArF→EUV(13.5nm)的方向移动。随着曝光波长的缩短,光刻胶所能达到的极限分辨率不断提高,光刻得到的线路图案精密度更佳,而对应的光刻胶的价格也更高。

光刻光路的设计,有利于进一步提升数值孔径,随着技术的发展,数值孔径由0.35发展到大于1。相关技术的发展也对光刻胶及其配套产品的性能要求变得愈发严格。

工艺系数从0.8变到0.4,其数值与光刻胶的产品质量有关。结合双掩膜和双刻蚀等技术,现有光刻技术使得我们能够用193nm的激光完成10nm工艺的光刻。

为了实现7nm、5nm制程,传统光刻技术遇到瓶颈,EUV(13.5nm)光刻技术呼之欲出,台积电、三星也在相关领域进行布局。EUV光刻光路基于反射设计,不同于上一代的折射,其所需光刻胶主要以无机光刻胶为主,如金属氧化物光刻胶。


光刻工艺主要性一

光刻胶不仅具有纯度要求高、工艺复杂等特征,还需要相应光刻机与之配对调试。一般情况下,一个芯片在制造过程中需要进行10~50道光刻过程,由于基板不同、分辨率要求不同、蚀刻方式不同等,不同的光刻过程对光刻胶的具体要求也不一样,即使类似的光刻过程,不同的厂商也会有不同的要求。

针对不同应用需求,光刻胶的品种非常多,这些差异主要通过调整光刻胶的配方来实现。因此,光刻胶,通过调整光刻胶的配方,满足差异化的应用需求,是光刻胶制造商Zui核心的技术。

此外,由于光刻加工分辨率直接关系到芯片特征尺寸大小,而光刻胶的性能关系到光刻分辨率的大小。限制光刻分辨率的是光的干涉和衍射效应。光刻分辨率与曝光波长、数值孔径和工艺系数相关。



光刻胶 NR9-500PY?-赛米莱德-光刻胶 由 北京赛米莱德贸易有限公司提供。北京赛米莱德贸易有限公司(www.semild.com)是北京 大兴区,工业制品的翘楚,多年来,公司贯彻执行科学管理、创新发展、诚实守信的方针,满足客户需求。在赛米莱德领导携全体员工热情欢迎各界人士垂询洽谈,共创赛米莱德更加美好的未来。

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注册资本100 万元
主营产品光刻胶
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